光罩

浸潤式微影與EUV技術

您在半導體產業新聞中，常聽到的20奈米、16奈米這些名詞，指的都是晶片上電路圖的「線寬」。 

微影技術

從過去半導體的65奈米世代，到現在您常聽到的20奈米、16奈米，指的都是晶片上電路圖的「線寬」。